產品中心
productsHOT N2
Hot N2 通過直接管路高溫分布,以達到管路內部高溫環境,適用于PECVD 、Dry Etch 、 LPCVD 等會產生Powder 的制程設備
在現場處理Pipe or Scrubber Inlet 阻塞的問題方向,Hot N2 是最經濟且效果最佳的解決方式
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Hot N2 通過直接管路高溫分布,以達到管路內部高溫環境,適用于PECVD 、Dry Etch 、 LPCVD 等會產生Powder 的制程設備
在現場處理Pipe or Scrubber Inlet 阻塞的問題方向,Hot N2 是最經濟且效果最佳的解決方式